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| 油旋片式真空泵 |
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| 特 性 | 应 用 |
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• 双绕式涡旋泵，含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋;
• 可在大气压下实现操作运行; • 可实现高极限真空; • 低振动低噪音; • 维护周期可通过计时表控制; |
• 分析设备;
• 气体回收系统; • 涂料设备; • TMP 前级泵; • 氦渗漏探测器; • 半导体制造工艺; |
| 规格参数 | |||
| 单位 | 50Hz | 60Hz | |
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实际抽速
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L/min | 30 | 36 |
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极限压力※
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Pa | 0.67 | |
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马达
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单相, 100-120V ,100W , 2 poles, 电容式 | ||
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满载电流
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A | 1.85 (100V) 1.80 (110V) |
1.89 (100V) 1.71 (120V) |
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油量
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mL | 370 | |
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推荐用油
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R-2 | ||
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重量
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kg | 9.3 | |
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进气口直径
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mm | KF-16 | |
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环境温度
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°C | 7 – 40 | |
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尺寸
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mm | 120(W) x 288.5(L) x 163(H) | |
| 渦旋干式真空泵／双绕式 |
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| 特 性 | 应 用 |
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• 大范围电压马达 取得CE，cTUVus 认证;
• 磁性联轴器实现轴封无油渗漏，使用寿命增长; • 可防止逆流; |
• 氦检漏仪;
• 分析仪器。（GC/MS、ICP/MS、LC/MS）; • 实验室; |
| 规格参数 | |||
| 单位 | 50Hz | 60Hz | |
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实际抽速
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L/min | 30 | 36 |
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极限压力※
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Pa | 5.0 | |
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马达
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单相, 100-120V ,100W , 2 poles, 电容式 |
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满载电流
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A | 2.6/1.3/ 1.6(100/ 200/230V) |
2.1/2.2/ 1.1/1.1( 100/115/ 200/230V) |
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油量
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kg | 14.0 | |
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重量
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R-2 | ||
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进出气管道直径
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kg | 进气管 KF-25 出气管 KF-16 | |
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环境温度
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°C | 5 – 40 | |
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水蒸气处理
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g/天 | ≤5 (A.F. 开启) | |
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尺寸
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mm | 214(W) × 308(L) × 225(H) | |
