集成多个薄膜工艺的真空设备系统，通过控制室的机械手实现基板传输。该设备系统适合光电材料和器件，先端存储器器件，和半导体材料等研究。
• 超高真空（10^-8Pa）字
• 国内独有系统集成技术系统内
• 实现多种薄膜工艺和多层薄膜生长
